Введение 2
1 Классификация пористого кремния и области применения пористого кремния 3
2 Технология получения пористого кремния 6
Заключение 11
Список литературы 13
Структура пористого слоя определяется как плотностью тока, так и составом электролита. В качестве электролита наиболее часто применяется водный раствор плавиковой кислоты различной концентрации, также возможно введение в электролит различных добавок, например одноатомных спиртов, H2O2 и др. Введение в состав электролита таких добавок, как спирты (например, C2H5OH), необходимо для повышения смачиваемости поверхности, так как известно, что чистая поверхность кремния гидрофобна. Процесс травления может быть интенсифицирован добавлением в электролит азотной кислоты и фтористого аммония. В зависимости от условий травления, а также состава и концентрации электролита после процедуры травления на внутреннюю поверхность пористого кремния могут быть вынесены продукты электрохимических реакций (аморфный кремний, оксиды, гидриды кремния и др.). В настоящее время известны различные составы электролитов для получения por-Si.
Предложена следующая классификация электролитов для получения пористого кремния:
1. Гаврилов С. А., Белов А. Н. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. М.: Изд-во Юрайт: ИД Юрайт, 2014. 257 с.
2. Мошников В. А., Спивак Ю. М. Электрохимические методы получения пористых материалов для топливных элементов // Основы водородной энергетики / под ред. В. А. Мошникова и Е. И. Терукова. 2-е изд. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2011. С. 103–140.
3. Formation and application of porous silicon / H. Foll, M. Christophersen, J. Carstensen, G. Hasse // Materials Science and Engineering. 2002. R 39. P. 93–141.
4. Исследование электронного строения и химического состава пористого кремния, полученного на подложках n- и p-типа, методами XANES и ИКспектроскопии / А. С. Леньшин, В. М. Кашкаров, П. В. Середин, Ю. М. Спивак, В. А. Мошников // ФТП. 2011. Т. 45, вып. 9. С. 1229–1234.
5. Исследование закономерностей формирования структуры пористого кремния при многостадийных режимах электрохимического травления / П. Г. Травкин, А. С. Леньшин, Ю. М. Спивак и др. // Изв. СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2011. № 4. С. 3–9.
6. Мошников В. А., Спивак Ю. М. Атомно-силовая микроскопия для нанотехнологии и диагностики: учеб. пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2009. 80 с.
7. Методика исследования субмикровыделений в поликристаллических материалах методом внутреннего трения / М. В. Бестаев, Д. Ц. Димитров, В. А. Мошников и др. // ФТП. 1997. Т. 31, № 7. С. 841–843.
8. Борисенко В. Е., Толочко Н. К. Наноматериалы и нанотехнологии / Изд. центр БГУ. Минск, 2008. 375 с.
9. Наноматериалы, нанопокрытия, нанотехнологии: учеб. пособие / Н. А. Азаренков, В. М. Береснев, А. Д. Погребняк и др. Харьков: Изд-во ХНУ им. В. Н. Каразина, 2009. 209 с.
10. Третьяков Ю. Д. Нанотехнологии. Азбука для всех / Ю.Д. Третьяков ; под ред. Ю.Д. Третьякова. Москва : Физматлит, 2008. 368 с.
11. Третьяков Ю. Д. Основные направления фундаментальных и ориентированных фундаментальных исследований в области наноматериалов / Ю.Д. Третьяков, Е.А. Гудилин // Международный научный журнал Альтернативная экология и энергетика. 2009. №6. С. 39–67
